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【解説/半導体材料】次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？ [すらいむ★] [◆科学ニュース+] [解説 半導体製造]
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最終更新時間 04/20 12:50
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